设备调试笔记：ALD 电气联调里最容易被忽略的三件事

联调阶段最容易出问题的，往往不是复杂的地方。

## 一、线号和图号必须对得上

图纸改了、线号没改，是最常见的返工原因。现在我会在接线前先抽查 20% 的线号，对不上就整批退回。

## 二、联锁先跑通，再谈工艺

所有 interlock（真空、温度、气路、门开关）在通气之前全部单点验证一遍。工艺气体上去以后再查联锁，成本和风险都不是一个量级。

## 三、接地与屏蔽

信号线的屏蔽层单端接地，变频器和加热电源分开走线。很多「传感器乱跳」最后都是接地问题。

以上是自己踩过的坑，写给以后的自己。